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FinFET与FD-SOI只能选一个?半导体制造商正在将两者结合
[发布时间]:2015年7月7日 [来源]:eettaiwan [点击率]:2390
【导读】: 在我们大多数人“非黑即白”、“非此即彼”的观念里,半导体业者应该不是选择FinFET就是FD-SOI制程技术不过既然像是台积电(TSMC)、GlobalFoundrie或三星(Samsung)等晶...

  在我们大多数人“非黑即白”、“非此即彼”的观念里,半导体业者应该不是选择FinFET就是FD-SOI制程技术;不过既然像是台积电(TSMC)、GlobalFoundrie或三星(Samsung)等晶圆代工厂,必须要同时提供以上两种制程产能服务客户,有越来越多半导体制造商也正在考虑也致力提供“两全其美”的制程技术。
  例如飞思卡尔半导体(Freescale Semiconductor)最近就透露,该公司正在14至16奈米节点采用FinFET技术,以及在28奈米节点采用FD-SOI制程技术,只为了达成相同的目标--更高的速度以及更低的功耗--不过是针对不同的半导体元件产品;此外飞思卡尔也在尝试在下一世代的半导体制程节点,将两种技术结合在一起。
  “飞思卡尔与所有的晶圆代工业者都有合作关系,也具备从低复杂性到超高复杂性的制程技术与连结技术能力,其中有很多是独家的;”飞思卡尔微控制器(MCU)事业群的应用处理器与先进技术副总裁Ron Martino表示:“因此,我们已经针对FinFET与FD-SOI制程开发了最佳化的技术蓝图。”
  Martino进一步举例指出,FD-SOI晶圆片较昂贵,不过适合低功耗或高性能的应用,搭配飞思卡尔的28奈米i.MX非常完美;至于FinFET制程,该公司认为该技术是数位连网(digital networking)产品线成功的关键,能以良好的价格与性能比达成他们提高产品速度的目标。
  SOI产业联盟(成员包括IBM、Imec、Soitec、ST与飞思卡尔)已经尝试将FinFET技术与SOI结合。

埋入氧化层(buried-oxide,BOX;图右)已经为FD-SOI薄化

  Martino甚至认为,未来可能会有一些透过结合FinFET与FD-SOI所带来的“惊喜”,也许是将这两种技术在下一个半导体制程节点合并在一起,同时在未来许多年维持以28奈米FD-SOI制造较低阶的产品。
  “FD-SOI制程需要感测器整合,28奈米节点具备所需的RF与类比功能,能让许多可穿戴式装置在连结性与低功耗方面取得具吸引力的平衡;”Martino表示:“各个节点的甜蜜点(sweet spot)是FD-SOI在40奈米节点与28奈米节点,FinFET则是更先进的节点如14~16奈米节点。在制程微缩以及成本的最佳化方面,我们将看我们能如何有效地利用FD-SOI与FinFET。”

在SOI上的FinFET之鳍式电晶体如何被更好的隔离,无期限的通道简化制程步骤

  意法半导体(STMicroelectronics)是选择FD-SOI优先于FinFET,前者是藉由在电晶体(BOX)之下放置一层薄的绝缘体,因此让未掺杂的通道达到全空乏(full-depletion),将泄漏电流缩减到最小。不过FD-SOI还有一个通常被忽视的优势,是极化(polarize) BOX下方基板的能力,也就是“顺向基底偏压(forward body biasing,FBB)”。
  顺向基底偏压在功耗与性能折衷的最佳化方面非常有效率,而且藉由在运作过程中改变偏置电压,设计工程师能让他们的电晶体在不使用时达到超低功耗,但又能在速度如常时于关键时刻达到超高效能。
  飞思卡尔表示,FD-SOI在28奈米节点与非常省电之低功耗元件的智慧整合方面是领先技术,而且能扩展到28奈米以下,FinFET则是在更先进的制程节点产出今日最高性能的元件;这两种技术都会产生全空乏通道,只是以不同的方式--所以如果让两者结合在一起呢?

  块状晶圆与SOI晶圆上的FinFET成本差异,会随着所需的额外制程步骤而抵销但在SOI上仍然较昂贵
  “FD-SOI是全空乏,FinFET也是全空乏,你甚至可以将两种技术结合在一起;”Martino 表示:“总之,飞思卡尔将继续最佳化我们的产品阵容,因为我们需要广泛的技术与制程,从i.MX最佳化到嵌入式快闪记忆体最佳化,所有都将会需要适合它们的制程。”
  有些半导体业者专注于FD-SOI,有一些则锁定FinFET,但对无晶圆厂业者与半无晶圆厂(semi-fabless)来说,晶圆代工业者能提供两种技术选项;所以为什么不将两者混搭甚至结合在一起呢?事实上SOI产业联盟,正在实验于7奈米节点结合两种技术,跨越闸极全面拓展鳍式架构,而且利用三五族(III-V)通道。

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