AUO发布了以将来量产为目标的32英寸有机EL面板的实现技术。a-IGZO TFT用7片光掩模制作。
友达光电作为实现大屏幕化的关键技术发布的,是a-IGZO TFT的制作工艺。光掩模数量为7片,分别是(1)栅极电极(Al/Mo)、(2)半导体层(a-IGZO)、(3)蚀刻阻挡层(SiOx)、(4)源漏电极(MoN/Al/MoN)、(5)表面保护膜(SiOx/SiNx)、(6)阳极(ITO)、(7)Bank层(有机膜)。a-IGZO层的成膜采用溅射法*。该公司开发a-IGZO TFT驱动的32英寸液晶面板时,用了5片光掩模,此次为形成有机EL元件而追加了掩模。
*溅射法=对Ar等惰性气体施加高频波使之等离子化,并照射称为“靶材”的原料物质使之升华,从而令原料物质在基板上堆积的方法。
CMI在展会上展示了预定2012年第四季度量产的智能手机用有机EL面板(图4)。展示了3.4英寸和4.3英寸两种。像素均为540×960,分辨率分别为326ppi和257ppi。驱动元件除采用LTPS TFT外,还通过采用使白色有机EL元件和RGBW四色彩色滤光片组合的彩色显示方式,同时实现了300ppi以上的分辨率和低耗电。有机EL元件的器件构造为顶部发光型。

图3:公开量产在即的智能手机用面板
CMI在展会上展出了预定2012年第四季度量产的智能手机用有机EL面板。通过组合白色发光材料及RGBW四色CF,实现了300ppi以上的高精细化。