LED产业外延芯片制造行业的同行，对爱思强(AIXTRON)和维易科(VEECO)两家MOCVD设备制造商是“爱恨交织”。

　　爱思强和维易科生产的设备，在外延芯片制造过程中不可或缺。也因此，这两家分别来自德国、美国的供应商长期把持了MOCVD产业90%以上的份额。

　　另外，由于国内地方政府2009年起实行MOCVD设备采购的高额补贴，令补贴政策的真正受益者不仅是国内LED企业，更推动了爱思强和维易科收益的大涨。

　　近2年来，中国企业也不断在MOCVD设备制造领域中求突破。尽管未必会享受到地方政府“豪气”的补贴，但若打破“外来和尚”的垄断格局，在LED产业仍处于发展中的阶段，国内企业也将分享到产业“红利”。

　　“外来和尚”垄断

　　MOCVD是一种“金属有机化合物化学气相沉淀”技术，该技术设备报价在1500万元/套，占LED外延芯片生产成本的40%~50%。

　　2009年前，MOCVD产业都不算是一个体量很大的行业，它被用在蓝光、大功率材料切割、光纤通讯以及医疗等方面。

　　中晟光电设备(上海)有限公司(下称“中晟光电”)一位负责人说：“2009年前，LED产业和MOCVD市场很小，只有爱思强和维易科、一家日本公 司提供MOCVD设备。2009年后，由于背光源的应用，LED产业实现了井喷式的发展，给这两家公司提供了发展契机。此外，新进入的MOCVD提供商， 有的不能提供满足客户需求的设备和技术(如美国的应用材料(17.5, -0.27, -1.52%)公司)，有的未能及时提供设备赶上市场的窗口，导致了爱思强和维易科‘霸主’的局面。”

　　截至2012年，维易科占该产业62%的市场份额，爱思强的市场占有率降低至28%，退至第二。

　　全球LED需求的增长，促使了这两家海外企业订单的上升。2010年、2011年，来自中国的买家大手笔采购，更使爱思强和维易科“数钱数到手软”。这背后，是中国地方政府的慷慨补贴。

　　光达光电设备科技(嘉兴)有限公司(下称“光达高科”)创始人兼CTO梁秉文，用自己掌上电脑中的图片来说明市场到底有多“疯狂”：2006年，全球 MOCVD设备出货量不到100台，2007年为100多台；到了2010年，该数字达到了800多台，同比2009年增长277%。“但市场的正常需求 大约是300到500台。”

　　也有数据显示，2010年800台的MOCVD设备出货量中，有60%(约480台)来自于中国的需求。而2011年，中国的MOCVD新增量约为483台，2012年则降到了200多台。

　　“我估计在2010年、2011年期间，来自中国地方政府对MOCVD设备的补贴额就在几十亿元左右。”梁秉文称。

　　2009年，江苏省扬州市率先出台政策，对不同的MOCVD设备，分别实行800万、1000万元的不同补贴标准。随后，厦门、佛山及芜湖等地也纷纷 仿效。三安光电、德润豪达、国星光电等国内公司在政策“激励”下，大肆采购MOCVD设备。如三安光电和德润豪达的采购量就高达上百台之多。

　　彼时，欧美企业也意外地“躺着数钱”。爱思强2008年、2009年的收入为2.744亿欧元、3.029亿欧元，但2010年、2011年的收入分 别达到7.8亿欧元和6.1亿欧元。它的EBIT(息税前利润)在2010年暴增到了2.75亿欧元，2009年仅为6270万欧元。

　　同样，维易科2010年的业绩创出历史最高纪录达9.33亿美元，利润为2.61亿美元。其中，该公司当年第四季度的收入为3亿美元，同比2009年的1.19亿美元大幅增长。

　　中国企业“抢攻”

　　尽管中国地方政府现有补贴幅度已经减缓，但LED的大发展仍势不可挡，MOCVD设备的研发、生产仍存在较好前景。目前，包括中晟光电、光达高科、广东昭信及上海理想能源等数家公司都在积极涉足。

　　梁秉文说，2013年1月，光达高科已通过了MOCVD设备的工艺能力验证，并与国内外公司达成了长期供货意向。前述中晟光电负责人也透露，今年3月中晟光电已上市了自主研发的首台MOCVD设备，同时也有了客户。

　　但中晟光电前述负责人对本报记者说：“MOCVD是LED产业链中的核心高端装备。它不仅涉及50多种学科和很多高端技术，而且LED外延工艺难度很 高，外延薄膜质量、薄膜厚度和波长均匀性和重复性的严格要求，对MOCVD设备开发提出了巨大的挑战。MOCVD设备的研发投资额耗费巨大，若企业没有长 期、持续的投入，很难在短期有立竿见影的经济效益。”